名 称

内 容 介 绍

认证概述

SEMI是Semiconductor Equipment and Materials International的英文缩写,即半导体设备及材料国际组织。它是由美国发起的国际组织,主要活动内容是拟定并颁布半导体工业生产用设备和材料的标准,交流科技与经济信息。SEMI总部设在美国加州;欧洲委员会在比利时的布鲁塞尔。

SEMI S2-0200
经过近4年的努力，一个新的SEMI S2于2000年2月发布。这份文件对要求进行了全面的更新，并在方法方面进行了重要改变，尤其增加了风险评估以及“可接受风险”和“符合意图”的概念。该文件还包含了几个新的部分，机械设计、危险警示标签、危险能量隔离、自动材料处理器和激光器。新文件未打算适用于旧设备；但是，许多终端用户迅速地将此文件版本增加到了他们的采购规范之中。大多数情况下，按照SEMI S2-93进行设计和评估的设备制造商成为这一流程的始创者。不过，随着时间的推移，大部分制造商被迫更新评估要求。不幸的是，许多制造商发现他们的新设备，主要是根据SEMI S2-93A设计评估的300mm器械，不能满足SEMI S2-0200的新要求。

SEMI S2-0302SEMI S2-0302发行于2002年3月，阐述了更新内容，保留或加入了协议以及几个引用文件，这些引用文件中极其值得注意的是SEMI S14“半导体生产设备的火险评估和缓解”。由于此项重大改变，SEMI S2要求火险评估使用SEMI S14。

SEMI S2-1102 & SEMI S2-0303
SEMI S2-1102和S2-0303紧跟‘-0302的步伐。这些版本的更新主要是对S2以及其他SEMI“S”指南，比如S9和S14的校订和调整。

SEMI S2-0703
SEMI S2的新更新版本出版于2003年7月。这个版本的更新包括第14部分相关信息和第11、12部分的变化。在特定情况下，该更新版允许使用软件和固件控制。这是头一个有关在安全控制电路方面使用软件和固件的明确指南。此前，大多数情况下都需要分散的硬件设备。

SEMI是国际半导体产业协会，主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。

SEMI会员创造的技术应用于一些相关行业，如平面显示器和微机电系统(MEMS)，持续增加有关的技术领域的创新项目。身为半导体、显示器、MEMS等相关行业仅有真正的全球性代表，SEMI将继续提供宝贵的服务，致力使其成为微电子生态系统协会的优选。

SEMI (国际半导体产业协会)是全球性的产业协会，致力于促进微电子、平面显示器及太阳能光电等产业供应链的整体发展。会员涵括上述产业供应链中的制造、设备、材料与服务公司，是改善人类生活质量的核心驱动力。自1970年至今，SEMI不断致力于协助会员公司快速取得市场信息、提高获利率、创造新市场、克服技术挑战。

SEMI投入世界各大主要科技领域，在全球有14个办公室,包括中国台湾(新竹)、中国大陆(上海、北京)、 日本(东京)、韩国(首尔)、新加坡、印度(邦加罗尔)、比利时(布鲁塞尔)、德国(柏林)、法国(格勒诺布尔)、俄国(莫斯科),和美国(圣荷西、奥斯汀、华盛顿)。其主要活动包含举办会议与展览、推动国际标准、公共政策、市场研究以及倡导产业环境、健康与安全(EHS)等议题。

运用展览所得之收益，SEMI创办人将资金再投资至他们的产业，并发表SEMI标准计划。从极早成功地将硅晶圆标准化，致力于工厂自动化与软件，SEMI国际标准计划已经协助保障自由市场与降低半导体制造成本，计有超过30年的时间。SEMI标准亦促进新产业的发展，包括现今的渗透性晶圆代工制造模型。

安全标准

SEMI标准中有材料（M系列）、设备（F系列）、平板显示器（D系列）、跟踪性（T系列）等，其中S系列规定了环境健康安全（EHS）的要求。

SEMI常见安全标准

SEMI S1 ??装置安全标签 Safety Guideline for Visual Hazard Alerts

SEMI S2 ??半导体生产装置的环境、健康、安全Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S3 ??热化学槽的安全性 Safety Guidelines for Heated Chemical Baths

SEMI S4 ??橱柜收纳高压气筒的隔离／分离Safety Guideline for the Segregation/ Separation of Gas Cylinders Contained in Cabinets

SEMI S5 ??流量限制设备Safety Guideline for Flow Limiting Devices

SEMI S6 ??换气Safety Guideline for Ventilation

SEMI S7 ??半导体生产装置的环境、健康、及安全性（ESH）评价Safety Guidelines for Environmental,Safety and Health Evaluation of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S8 ??半导体生产装置的人机工程学Safety Guidelines for Ergonomics/Human Factors Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S9 ??半导体生产装置的电气设计验证试验Electrical Test Methods for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S10 ??风险核查Safety Guideline for Risk Assessment

SEMI S11 ??半导体生产装置的小环境的环境、安全性及健康Environmental, Safety, and Health Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment Minienvironments

SEMI S12 ??装置的去污Guidelines for Equipment Decontamination

SEMI S13 ??半导体生产装置的操作及维护手册Safety Guidelines for Operation and Maintenance Manuals Used with Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S14 ??对半导体生产装置的火灾风险评估和降低Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment

SEMI S15 ??有毒及易燃气体的检测系统评价Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems

SEMI F47 ??电压瞬变能力规范 Voltage Sag Standard

认证流程

1、填写申请书

2、产品测试

3、产品整改（测试不合格的时候）　

4、出具报告

5、报告评估

6、出具证书

备 注

更多问题，请咨询我司市场人员，电话：1358 4190 500    0510-8516 8818